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前段时间,中芯国际向荷兰ASML订购了一台EUV极紫外光刻机,这是中芯用于7nm工艺的光刻机。但是,ASML的突然意外失火,让中芯错失这台机器。实际上,就算不失火,我估计中芯也拿不到这台机器!“技术的垄断”不会让我们掌握这项关键性技术。我们即使无奈,却只能“忍气吞声!”
我们先解决一个问题:为什么荷兰ASML公司可以垄断80%的光刻机市场份额?原因很简单,技术先进。而我们为什么制造不出光刻机?同样原因很简单:技术落后!
我们首先要知道,光刻机是什么?
光刻机,通过将各路电路的图案经过激光,缩微投影爆光到光刻胶上。看似简单的解释,其实非常复杂。所以,如今做的最好的就是荷兰的ASML的光刻机。而,尼康,佳能,中国的上海微电子装备和它相比还远远不如。
那么,为什么台积电,三星可以拥有ASML最先进的光刻机呢?主要是因为台积电,三星在ASML中都有股份。所以,它们可以第一时间使用到ASML公司的光刻机。
目前,我国为了摆脱这种困境,专门成立了,上海微电子装备有限公司(SMEE)。终于在2007年研究出了90nm高端投影光刻机;而在2016年内部验收了28nm光刻机。虽然说和荷兰ASML的7nm光刻机相去胜远,但是这已经是进步。
其实,上海微电子的在光刻机领域的进步虽然有目共睹,但是和荷兰之间的差异还是非常大的。这里主要是因为一些关键零部件,还是来欧美发达国家,比如瑞典的轴承,德国的镜头,美国的光栅,法国的阀件等等。而这些国家对于中国零部件都是禁运的。
所以,在这些关键的零部件中对中国进行禁售,也是反映了欧美国家害怕,一旦中国掌握了光刻机技术,会对欧美国家产生多大的影响,特别是在芯片领域的自主。
而光刻机中的一些关键技术,需要我们特别注重基础科学研究,加大投入。只有在慢慢的投入过程中获得提升,才能够摆脱西方国家的垄断。