都说高档光刻机要蔡司镜头,它到底强在哪里需要追赶?:高档光刻机镜头颠三倒四的胡吹,那些蔡司镜片几何形状精度,多少层合成等,总结只看到一种解释与普通镜头
高档光刻机镜头颠三倒四的胡吹,那些蔡司镜片几何形状精度,多少层合成等,总结只看到一种解释与普通镜头不同,就是光洁度,相当德国面积范围误差小于1CM,往实际情况推理,10CM直径镜头的平整度不超过2nm,也就是这一点最强,为了这样的光洁度,磨镜头资深人士知道,镜头磨料最细在20000目,按尺寸算约100纳米级,所以,磨可见光镜头足够了,但对于极紫外线就不行了,就象前面描述的要达到纳米级别光洁度,关键在于磨料,或者用别的方法了。
我们不是造不出光刻机,而是造不出最精密的机器。
近期《讲武堂》有一个问答说得比较清楚:
事已至此埋怨也没用。
用粗手指做针线活,是不行。您有没有考虑过用极速热熔法来消除表面那几纳米高的毛刺凸起呢?温度高,足可以短时间内融化那些毛刺,而后那些毛刺在分子表面张力下自然平。
我胡乱想的,也许您可以试一试。欢迎您的问题
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